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高科技廠務(修訂版)

高科技廠務(修訂版)

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9789572163887
顏登通
全華科技
2008年7月17日
160.00  元
HK$ 152
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* 叢書系列:大專電子
* 規格:平裝 / 512頁 / 20k / 普級 / 單色印刷 / 修訂版
* 出版地:台灣


大專電子


[ 尚未分類 ]








  這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新,半導體也推陳出新挑戰極限,而這些改變則是需要嚴格的生產廠房及研發環境,但在目前市面是並無以有系統介紹建立高科技廠房的專業案頭書,有鑑於此,作者將二十多年來在高科技產業的執行及顧問經驗,將所有的廠務系統作全面有秩序的整理編寫。本書共分為十三大章,內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統,除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹,本書的內容偏重實務之應用面和執行面。本書適合科大冷凍、空調、電子、電機系「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。



第1章 潔淨室與空調1-1
1-1 前 言1-1
1-2 潔淨室定義與發展史1-6
1-3 潔淨室標準與規格1-10
1-4 潔淨室適用範圍1-26
1-5 潔淨室分類1-36
1-6 潔淨空氣流分析1-52
1-7 不同障礙物對氣流之影響1-59
1-8 潔淨室設計規劃1-63
1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-75
1-10 潔淨室空調設計1-91
1-11 潔淨室建造、組裝材及程序1-112
1-12 潔淨室測試與驗收1-152
1-13 潔淨室運轉與維護管理1-163
1-14 潔淨室自動化系統1-201
1-15 潔淨室建造成本分析1-205

第2章 超純水處理2-1
2-1 前 言2-1
2-1-1 純水之功能2-2
2-1-2 水中之污染物2-2
2-1-3 水中不純物之測定分析2-5
2-2 超純水之製造2-12
2-2-1 超純水之規範2-12
2-2-2 純水製造類別分析2-18
2-2-3 純水製造用膜材質比較2-22
2-3 高科技產業用超純水2-24
2-3-1 高科技廠純水製造流程2-24
2-3-2 各製程模組件功能分析2-26
2-3-3 超純水管路設計2-29
2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控2-30

第3章 中央式化學品供應系統3-1
3-1 前 言3-1
3-2 化學品供應需求要素3-2
3-3 化學品供應種類3-2
3-4 化學品供應系統之架構與作用原理3-6
3-5 化學品配管與安全考量3-12
3-6 結 論3-14

第4章 中央式氣體供應系統4-1
4-1 前 言4-1
4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體4-2
4-3 氣體的規範4-5
4-4 中央式氣體供應架構4-6
4-5 供氣系統的安全技術4-13
4-6 氣體的供應輸送4-15
4-7 氣體供應的規劃與設計4-18

第5章 廢水處理及回收5-1
5-1 前 言5-1
5-2  排放標準5-2
5-3 廢水種類5-5
5-4 廢水處理系統介紹5-6
5-5 廢水處理之規劃設計運轉5-14

第6章 電力供應與中央監控6-1
6-1 前 言6-1
6-2 電力供應系統組成6-2
6-3 受電供電設備6-5
6-4 建廠電力系統規劃6-6
6-5 電力供應系統設備運轉管理6-24
6-6 廠務中央監控系統6-26

第7章 廠務設施架構7-1
7-1 前 言7-1
7-2 冰水及冷凝冷卻水7-1
7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統7-3
7-4 製程冷卻水7-5
7-5 乾燥壓縮空氣/呼吸用空氣7-6
7-6 製程真空和清潔用真空系統7-8

第8章 環境保護與工業安全維護8-1
8-1 前 言8-1
8-2 環保與工安之功能目的8-2
8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃8-2
8-4 廢氣種類與排放標準8-4
8-5 廢氣處理方式8-5
8-6 廢棄物處理與減廢8-18
8-7 有關環保相關申請文件及流程8-40
8-8 工業安全與衛生維護8-51

第9章 管路設計及空間佈置規劃9-1
9-1 前 言9-1
9-2 管路材質選用9-2
9-3 氣體管路配管9-4
9-4 管路標示9-14
9-5 管路設計規劃9-17
9-6 管路之空間佈置9-21

第10章 建廠設計評估及施工監造管理10-1
10-1 前 言10-1
10-2 建廠工程規劃10-2
10-3 建廠工程設計及施工執行流程10-5

第11章 風險評估管理計劃11-1
11-1 前 言11-1
11-2 風險管理四要素11-2
11-3 風險評估程序11-5
11-4 損害防阻執行11-6
11-5 災害復原計畫11-10

第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析12-1
12-1 前 言12-1
12-2 建廠時程12-2
12-3 建廠成本分析12-3
12-4 廠務系統用量分析12-7

第13章 結 語13-1

附   錄 簡稱字彙彙總附-1




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