序
微機電技術的嶺展,雖然在1980年代已經開始,但都是基於矽晶技術的發展,製作深寬比小於1的感測器為主。在90年代,德國發展出利用 X光進行深刻模造技術以後,深寬比已可達到數百的微機電感測器、致動器才開始出現;目前已商品化的產品如可見光譜儀、慣性陀螺儀 … 等,配合最新發展的神經網路,三度空問的生物電子晶片預期也即將在廿一世紀初葉問世。
微機電技術不僅帶動了新興產業的興起,它也使人類許多夢想成真,工業產品不僅走向短、小、輕、薄,也使廿世紀資訊電子二度空問產品走向三度空問。我國在科技嶺展上早已把微機電技術視為重點。國科會不僅在北、中、南分別成立微機電研究中心,更在南部科學園區闢有專區以供發展精密機械及微機電產業之用。孟博士早期服務於國防科技單位,並先後任教於清大、交大、台大,今以其於台大電機系講授「微機電系統技術」累積教學相長的經驗而編著本書,為國內當前第一本微機電之中文教科書,用文深入淺出並佐以相當多的圖片,為本書之特色。相信本書的出現,將對我國微機電技術知識的擴散有相當貢獻。