奈米薄膜材料具有特殊的物理和化學特性，在奈米電子學中有很重要的應用前景。本書主要介紹了當前有關奈米薄膜的製造、元件和應用中較前瞻的內容和資料，詳細地闡述了中外該領域的發展動向及趨勢。內容包括：奈米薄膜材料的基本概念；材料的製造方法以及物理、化學性能；半導體奈米量子點；Si基奈米薄膜與元件；奈米薄膜的電子轉移和單電子電導等。