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好吃(NO.5+6)套書(共二冊)
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半導體工程-精選
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9789571149257
蔡淑慧
五南
2007年10月23日
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本書以有系統的方式,深入淺出地介紹目前半導體歷史回顧、物理及元件物理與製程整合所必須具備的基礎理論、重要觀念與方法、以及先進製造技術特別是奈米材料在最近發展快速之後,半導體的應用更加朝向奈米級的應用。
內容可分為十個章節:第一至第五章涵蓋目前主流半導體元件基本特性、包括了材料、結構、電磁場中的傳輸行為、以及光電特性。第六至第八章探討現代與先進的元件物理之原理及相關應用、包括了 MOS結構、非晶型半導體、以及半導體多層結構。第九至第十章則討論以半導體元件為主的相關半導體製程與應用,包括了半導體長晶、長膜、以及元件製程。
由於強調基本物理觀念與實用並重,且對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代,並盡可能以「雷達報報站」的補充解釋來幫助讀者理解與想像,以期收事半功倍之效。
除了可作為電機電子工程、系統工程、應用物理、與材料工程領域的大學部高年級學生或研究生的教材,也可以作為半導體業界工程師的重要參考。適合基礎理工、電子訊息、半導體相關科系學生學習的教科用書,也可提供相關從業人員參考進修之用。
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