於夜間無清潔保養干擾時，為機台與區域濃度分佈診斷的最佳時機，由區域分佈結果發現同樣機台濃度之間差異很大，於異常機台調查後發現管路銜接問題、管材劣化與機台下方有殘留化學液體是造成濃度偏高的重要原因。於維護保養作業的觀察與調查，發現導致異味的原因主要來自於真空吸塵器排放口所排出的光阻稀釋劑，建議必須將排放口設置專用的排氣口導入處理設備，避免直接排到潔淨室。於迴風區(Return air plenum)調查時發現有多種全氟化物(Perfluorochemicals)與白光區的空氣污染物，顯示潔淨室的空氣會有交錯污染的現象，對於特殊全氟機台擦拭溶劑的成分，本研究建立了有效之評估技術，但是建議使用單一型的溶劑取代這類混合型的全氟化物溶劑。
